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Soluciones Corporativas

Interruptores de flujo de agua para hornos de inducción: Monitoreo y protección de parámetros dobles. Alta precisión y respuesta rápida.

2026-01-03

Garantizando la seguridad de los hornos de semiconductores mediante el control de refrigeración de precisión

Los hornos de inducción en la fabricación de semiconductores requieren una refrigeración a prueba de fallos para evitar fallos catastróficos y la pérdida de obleas. Este artículo explica cómo interruptores de flujo de doble parámetro mitigan los riesgos mediante:

  • Seguimiento simultáneo de flujo/temperatura: Detecta desviaciones tan pequeñas como 0.2 L/min y ±0.3°C.

  • Protección multietapa: Reduce automáticamente la potencia o inicia paradas en <100ms de anomalías.

  • Durabilidad conforme a SEMI: El acero inoxidable 316L resiste los refrigerantes corrosivos y las sobretensiones de alta presión.

Nuestro sensor de flujo de agua logra una precisión de ±0.5% en los sistemas de refrigeración de hornos de inducción.

Un estudio de caso demuestra una mejora del 99.9% en el tiempo de actividad para una fábrica de obleas de 300 mm.

El papel fundamental de la refrigeración en los hornos de inducción de semiconductores

Funcionando a 1.400–1.600°C, los hornos de inducción funden silicio para el crecimiento de cristales. Las fallas de refrigeración causan:

  • Grietas en el crisol de cuarzo: Costos de reemplazo de $250k+.

  • Contaminación de la oblea: Impurezas metálicas de fugas de material fundido.

  • Tiempo de inactividad no planificado: Más de 8 horas para reiniciar los ciclos del horno.

Cómo los interruptores de flujo de doble parámetro previenen desastres

1. Monitoreo de nanoprecisión

  • Rango de flujo: 0.5 a 40 L/min (±0.5% FS) para una regulación precisa del agua DI.

  • Rango de temperatura: 0 a 100°C (±0.3°C) con sensores de grado PT1000.

  • Lógica multifuncional: Distinguir las fallas de la bomba (bajo flujo + aumento de temperatura) de las obstrucciones parciales (bajo flujo + temperatura estable).

2. Acciones de protección instantáneas

  • Alerta de etapa 1: Notificar a los operadores en los umbrales de flujo/temperatura del 90%.

  • Respuesta de etapa 2: Reducir la potencia de calentamiento en un 50% a través de PLC.

  • Parada de etapa 3: Aislar el horno si el flujo cae por debajo del 70% durante >3 segundos.

3. Reforzado para entornos hostiles

  • Clasificación de 150 PSI: Resiste el golpe de ariete del agua de los cierres rápidos de las válvulas.

  • Protección IP67: Funciona sumergido en tanques de refrigerante.

  • Cero disparadores falsos: El blindaje EMI evita el ruido de la señal en zonas de alta RF.

Estudio de caso: Producción de obleas de silicio de 300 mm

Una fundición líder logró:

  • 99.9% de tiempo de actividad: Eliminó 12 paradas de horno/año.

  • 30% de ahorro de energía: Refrigeración optimizada adaptada a los ciclos de fusión.

Ventajas técnicas

  • Sensores autolimpiantes: El pulso ultrasónico evita la acumulación de minerales.

  • Salidas multiprotocolo: Integración de 4–20mA, ModBus o EtherCAT.