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Unternehmenslösungen

Wasserflussschalter für Induktionsöfen: Doppelparameterüberwachung und -schutz High-Genauigkeit und schnelle Reaktion

2026-01-03

Sicherstellung der Sicherheit von Halbleiteröfen durch Präzisionskühlkontrolle

Induktionsöfen in der Halbleiterherstellung erfordern eine ausfallsichere Kühlung, um katastrophale Ausfälle und Waferverluste zu verhindern.mit einer Leistung von mehr als 50 WRisiken durch:

  • Gleichzeitige Durchfluss-/Temperaturverfolgung: Abweichungen von0.2 L/minund± 0,3°C.

  • Mehrstufiger Schutz: Automatische Leistungsminderung oder Abschaltung innerhalb< 100 msvon Anomalien.

  • Dauerhaftigkeit in Übereinstimmung mit der SEMI-Regelung: 316L Edelstahl widersteht korrosiven Kühlmitteln und Hochdruckspannen.

Unser Wasserflusssensor erreicht in Induktionsöfen-Kühlsystemen eine Genauigkeit von ±0,5%.

Eine Fallstudie zeigt eine990,9% BetriebszeitEine Verbesserung für eine 300mm Waferfabrik.

Die entscheidende Rolle der Kühlung in Halbleiter-Induktionsöfen

Bei einer Temperatur von 1400 bis 1600 °C schmelzen die Induktionsöfen Silizium zum Kristallwachstum.

  • Quarzschmelzschmelzscheiben250 000 Dollar und mehr als Ersatzkosten.

  • Kontamination der Wafer: Metallverunreinigungen aus geschmolzenen Lecks.

  • Nicht geplante Ausfallzeiten: 8+ Stunden bis zum Neustart der Ofenzyklen.

Wie Doppelparameter-Flussschalter Katastrophen verhindern

1. Nanopräzisionsüberwachung

  • Durchflussbereich: 0,5 bis 40 L/min (±0,5% FS) für eine präzise DI-Wassereinstellung.

  • Temperaturbereich: 0 bis 100 °C (±0,3 °C) mit PT1000-Sensoren.

  • Querschnittliche Logik: Unterscheidung zwischen Pumpenausfällen (niedriger Durchfluss + steigende Temperatur) und partiellen Verstopfungen (niedriger Durchfluss + stabile Temperatur).

2Sofortige Schutzmaßnahmen

  • Warnung in Stufe 1: Die Betreiber werden bei 90% Durchfluss/Temperatur-Schwellenwerte benachrichtigt.

  • Phase 2 Reaktion: Reduzieren Sie die Heizleistung um 50% über die PLC.

  • Stufe 3 Abschaltung: Isolieren Sie den Ofen, wenn der Durchfluss für > 3 Sekunden unter 70% fällt.

3. für raue Umgebungen gebaut

  • 150 PSI-Rating: Wasserschlag durch schnelle Ventilverschlüsse.

  • IP67-Schutz: Betrieb unter Wasser in Kühlbehältern.

  • Keine falschen Auslöser: EMI-Schirmung verhindert Signallärm in Hochfrequenzzonen.

Fallstudie: Herstellung von 300 mm Siliziumwafer

Eine führende Gießerei erzielte:

  • 990,9% Betriebszeit: 12 Schließungen von Öfen/Jahr wurden beseitigt.

  • 30% Energieeinsparung: Optimierte Kühlung entsprechend dem Schmelzzyklus.

Technische Vorteile

  • Selbstreinigende Sensoren: Ultraschallpulse verhindern die Anhäufung von Mineralien.

  • Mehrprotokoll-Ausgänge: 4×20mA, ModBus oder EtherCAT-Integration.