dutch NL
"
Bedrijfsoplossingen

Waterstroomschakelaars voor Inductieovens: Duale Parameter Bewaking & Bescherming | Hoge Nauwkeurigheid & Snelle Respons

2026-01-03

Veiligheid van halfgeleiderovens garanderen door precisiekoelingsregeling

Inductieovens in de halfgeleiderfabricage vereisen fail-safe koeling om catastrofale storingen en waferverlies te voorkomen. Dit artikel legt uit hoe flow switches met dubbele parameters risico's verminderen door:

  • Gelijktijdige Flow/Temperatuur Tracking: Detecteer afwijkingen van slechts 0,2 L/min en ±0,3°C.

  • Multi-Stage Bescherming: Automatisch vermogen verminderen of uitschakelingen initiëren binnen <100ms van afwijkingen.

  • SEMI-conforme Duurzaamheid: 316L roestvrij staal is bestand tegen corrosieve koelvloeistoffen en hoge drukgolven.

Onze waterstroomsensor bereikt ±0,5% nauwkeurigheid in koelsystemen voor inductieovens.

Een casestudy toont een 99,9% uptime verbetering voor een 300 mm waferfabriek.

De Kritieke Rol van Koeling in Halfgeleider Inductieovens

Inductieovens werken bij 1.400–1.600°C en smelten silicium voor kristalgroei. Koelstoringen veroorzaken:

  • Kwarts Smeltkroes Scheuren: $250k+ vervangingskosten.

  • Waferverontreiniging: Metalen onzuiverheden door gesmolten lekken.

  • Ongeplande Stilstand: 8+ uur om oven cycli opnieuw te starten.

Hoe Flow Switches met Dubbele Parameters Rampen Voorkomen

1. Nanoprecisie Monitoring

  • Debietbereik: 0,5 tot 40 L/min (±0,5% FS) voor precieze DI-waterregeling.

  • Temperatuurbereik: 0 tot 100°C (±0,3°C) met PT1000-sensoren.

  • Cross-Functionele Logica: Onderscheid pompstoringen (lage flow + stijgende temp) van gedeeltelijke verstoppingen (lage flow + stabiele temp).

2. Directe Beschermende Acties

  • Fase 1 Alert: Informeer operators bij 90% flow/temp drempels.

  • Fase 2 Reactie: Verminder het verwarmingsvermogen met 50% via PLC.

  • Fase 3 Uitschakeling: Isoleer de oven als de flow daalt tot onder de 70% gedurende >3s.

3. Robuust voor Zware Omgevingen

  • 150 PSI Rating: Bestand tegen waterslag van snelle klepsluitingen.

  • IP67 Bescherming: Werkt ondergedompeld in koelvloeistoftanks.

  • Geen Valse Triggers: EMI-afscherming voorkomt signaalruis in zones met hoge RF.

Casestudy: 300 mm Silicium Wafer Productie

Een toonaangevende gieterij bereikte:

  • 99,9% Uptime: Elimineerde 12 ovenuitschakelingen/jaar.

  • 30% Energiebesparing: Geoptimaliseerde koeling afgestemd op smeltcycli.

Technische Voordelen

  • Zelfreinigende Sensoren: Ultrasone puls voorkomt minerale opbouw.

  • Multi-Protocol Uitgangen: 4–20mA, ModBus of EtherCAT integratie.