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法人向けソリューション

インダクションオーブンの水流スイッチ 双パラメータモニタリングと保護 高い精度と迅速な応答

2026-01-03

精密な冷却制御を通じて半導体炉の安全を確保する

半導体製造におけるインダクションオーブンは,壊滅的な故障とウェーファー損失を防ぐために故障防止冷却を必要とします.この記事では,どのように説明されます.2つのパラメータの流量スイッチリスクを軽減するために

  • 流量と温度を同時に追跡する: 小さい差異を検出する0.2L/分そして±0.3°C.

  • 多段階の保護: 自動減電または内側でシャットダウンを開始<100msアノマリーです

  • SEMI 準拠性の耐久性: 316Lステンレス鋼は,腐食性冷却剤と高圧波に耐える.

感应炉冷却システムでは ±0.5%の精度を達成しています

ケース・スタディは99.9%の稼働時間300mmのウエフラー製の改良です

半導体 誘導 炉 の 冷却 の 重要 な 役割

1,400~1,600°Cで動作するインダクションオーブンは,結晶の成長のためにシリコンを溶かす.冷却の失敗は:

  • クォーツ 溶融器 の 裂け目代用費用は25万ドル以上です

  • ワッフル の 汚染: 溶けた漏れから発生する金属性不浄物

  • 計画 さ れ ない 休憩 時間オーブンのサイクルを再起動するには 8時間以上です

双パラメータ の 流れ スイッチ が 災害 を 防ぐ 方法

1ナノ精密モニタリング

  • 流量範囲精密なDI水調節のために0.5〜40L/min (±0.5%FS)

  • 温度範囲: 0から100°C (±0.3°C) PT1000級センサーで

  • 交叉機能論理: ポンプの故障 (低流量 + 上昇する温度) と部分詰まり (低流量 + 安定した温度) を区別する.

2すぐさまの保護措置

  • ステージ1 警報: 流量/温度 90% の限界値で操作者に通知する.

  • 2 段階 反応PLC を使って熱力を50%削減します

  • ステージ3 シャットダウン熱流量が3秒以上で70%以下になる場合,炉を隔離する.

3荒い環境 に 耐える 耐久性

  • 150 PSI ランキング: 快速バルブ閉塞から水ハンマーに耐える.

  • IP67 保護: 冷却液タンクに浸透して動作する.

  • 偽の触発はゼロ: EMIシールドは高RFゾーンで信号騒音を防止します.

ケース・スタディ: 300mm シリコン・ウェーファー製造

一流の鋳造工場として

  • 99.9% 稼働時間: 年間12つの炉の停止を排除しました.

  • 30% の エネルギー 節約: 溶融サイクルに合わせた最適化冷却

技術 的 利点

  • 自動浄化センサー:超音波は鉱物蓄積を防ぐ.

  • 多プロトコル出力: 4×20mA,ModBus,またはEtherCAT統合