russian RU
"
Корпоративные решения

Датчики потока воды для индукционных печей: мониторинг и защита по двум параметрам | Высокая точность и быстрое реагирование

2026-01-03

Обеспечение безопасности полупроводниковых печей с помощью прецизионного контроля охлаждения

Индукционные печи в производстве полупроводников требуют отказоустойчивого охлаждения для предотвращения катастрофических сбоев и потери пластин. В этой статье объясняется, как двухпараметрические реле потока снижают риски за счет:

  • Одновременное отслеживание потока/температуры: Обнаружение отклонений всего в 0,2 л/мин и ±0,3°C.

  • Многоступенчатая защита: Автоматическое снижение мощности или инициирование отключений в течение <100 мс после обнаружения аномалий.

  • Соответствие требованиям SEMI по долговечности: Нержавеющая сталь 316L устойчива к коррозионным охлаждающим жидкостям и скачкам высокого давления.

Наш датчик расхода воды обеспечивает точность ±0,5% в системах охлаждения индукционных печей.

Пример использования демонстрирует улучшение 99,9% времени безотказной работы для фабрики пластин 300 мм.

Критическая роль охлаждения в индукционных печах для полупроводников

Работая при температуре 1400–1600°C, индукционные печи плавят кремний для выращивания кристаллов. Сбои в охлаждении приводят к:

  • Трещины кварцевого тигля: Затраты на замену более $250 тыс.

  • Загрязнение пластин: Металлические примеси из расплавленных утечек.

  • Незапланированное время простоя: 8+ часов для перезапуска циклов печи.

Как двухпараметрические реле потока предотвращают катастрофы

1. Нанопрецизионный мониторинг

  • Диапазон потока: от 0,5 до 40 л/мин (±0,5% FS) для точного регулирования деионизированной воды.

  • Диапазон температур: от 0 до 100°C (±0,3°C) с датчиками класса PT1000.

  • Кросс-функциональная логика: Различать отказы насоса (низкий поток + повышение температуры) от частичных засоров (низкий поток + стабильная температура).

2. Мгновенные защитные действия

  • Предупреждение 1-го этапа: Уведомление операторов при достижении пороговых значений 90% потока/температуры.

  • Реакция 2-го этапа: Снижение мощности нагрева на 50% через ПЛК.

  • Отключение 3-го этапа: Изоляция печи, если поток падает ниже 70% на >3 с.

3. Защита от суровых условий эксплуатации

  • Рейтинг 150 PSI: Выдерживает гидроудары от быстрого закрытия клапанов.

  • Защита IP67: Работа под водой в резервуарах с охлаждающей жидкостью.

  • Нулевые ложные срабатывания: Экранирование от электромагнитных помех предотвращает шумовые сигналы в зонах с высоким уровнем радиочастот.

Пример использования: производство кремниевых пластин 300 мм

Ведущее литейное производство достигло:

  • 99,9% времени безотказной работы: Устранено 12 отключений печи в год.

  • 30% экономии энергии: Оптимизированное охлаждение в соответствии с циклами плавки.

Технические преимущества

  • Самоочищающиеся датчики: Ультразвуковой импульс предотвращает образование минеральных отложений.

  • Многопротокольные выходы: Интеграция 4–20 мА, ModBus или EtherCAT.