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Interruptores de Fluxo de Água para Fornos de Indução: Monitoramento e Proteção de Duplo Parâmetro | Alta Precisão e Resposta Rápida

2026-01-03

Garantir a segurança dos fornos de semicondutores através de um controle de resfriamento de precisão

Os fornos de indução na fabricação de semicondutores exigem resfriamento à prova de falhas para evitar falhas catastróficas e perda de wafer.Computação de circuitos elétricosMitigar os riscos:

  • Monitoramento simultâneo do fluxo/temperatura: Detetar desvios tão pequenos como0.2 L/mine± 0,3°C.

  • Proteção em vários estágiosRedução automática da potência ou iniciação de desligamentos no< 100 msde anomalias.

  • Durabilidade compatível com o SEMI: O aço inoxidável 316L é resistente aos refrigerantes corrosivos e às ondas de alta pressão.

Nosso sensor de fluxo de água atinge ± 0,5% de precisão em sistemas de resfriamento de fornos de indução.

Um estudo de caso demonstra uma990,9% de tempo de atividadeMelhoria para uma fábrica de wafer de 300 mm.

O papel crítico do resfriamento em fornos de indução de semicondutores

Funcionando a 1.400-1.600°C, os fornos de indução derretem o silício para o crescimento de cristais.

  • Fissuras de cristais de quartzo250 mil dólares e mais custos de substituição.

  • Contaminação das bolinhas: Impuridades metálicas provenientes de fugas fundidas.

  • Tempo de inatividade não planejado: 8+ horas para reiniciar os ciclos do forno.

Como os interruptores de fluxo de parâmetros duplos evitam desastres

1Monitorização de nanoprecisão

  • Intervalo de fluxo: 0,5 a 40 L/min (± 0,5% FS) para uma regulação precisa da água DI.

  • Intervalo de temperatura: 0 a 100 °C (± 0,3 °C) com sensores de classe PT1000.

  • Lógica Cross-FuncionalDistinguir as falhas da bomba (baixo caudal + temperatura crescente) dos entupimentos parciais (baixo caudal + temperatura estável).

2Ações de protecção imediatas

  • Fase 1 Alerta: Notificar os operadores a 90% dos limiares de caudal/temperatura.

  • Fase 2 RespostaRedução da potência de aquecimento em 50% através do PLC.

  • Fase 3 Desligamento: Isolar o forno se o caudal for inferior a 70% durante > 3 s.

3- Robusto para ambientes difíceis

  • Classificação 150 PSI: Resistir ao martelo de água de fechamentos rápidos da válvula.

  • Proteção IP67Funcionam submersos em reservatórios de líquido de arrefecimento.

  • Nenhum Falso Trigger: A blindagem EMI impede o ruído do sinal em zonas de alta RF.

Estudo de caso: Produção de Wafer de Silício de 300 mm

Uma fundição líder alcançou:

  • 990,9% de tempo de atividade: Eliminação de 12 paralisações de fornos/ano.

  • Economia de 30% de energia: Otimizado resfriamento combinado com ciclos de fusão.

Vantagens técnicas

  • Sensores de autolimpezaO pulso ultra-sônico impede o acúmulo de minerais.

  • Outputes multiprotocolo: 4×20mA, ModBus ou integração EtherCAT.