greek EL
"
Εταιρικές λύσεις

Διακόπτες ροής νερού για φούρνους επαγωγής: Παρακολούθηση και προστασία διπλών παραμέτρων.

2026-01-03

Διασφάλιση της ασφάλειας των ημιαγωγών με τον ακριβή έλεγχο ψύξης

Οι φούρνοι επαγωγής στην παραγωγή ημιαγωγών απαιτούν ασφαλή ψύξη για την πρόληψη καταστροφικών αποτυχιών και απώλειας πλακών.Διακόπτες ροής δύο παραμέτρωννα μετριάσουν τους κινδύνους με:

  • Ταυτόχρονη παρακολούθηση ροής/θερμοκρασίας: Ανιχνεύουν αποκλίσεις τόσο μικρές όσο0.2 L/minκαι± 0,3°C.

  • Πολυεπίπεδης προστασία: Αυτόματη μείωση ισχύος ή έναρξη διακοπής λειτουργίας εντός< 100 msτων ανωμαλιών.

  • Δυνατότητα που συμμορφώνεται με τις απαιτήσεις του SEMI: Ο ανοξείδωτος χάλυβας 316L είναι ανθεκτικός στα διαβρωτικά ψυκτικά και στις υψηλές πιέσεις.

Ο αισθητήρας ροής νερού μας επιτυγχάνει ακρίβεια ± 0,5% στα συστήματα ψύξης με επαγωγικό φούρνο.

Μια μελέτη περιπτώσεων δείχνει ένα990,9% λειτουργικότηταβελτίωση για ένα 300mm πλακέτα fab.

Ο κρίσιμος ρόλος της ψύξης σε ημιαγωγούς φούρνους επαγωγής

Εργάζονται σε θερμοκρασία 1.400-1.600 °C, οι φούρνοι επαγωγής λιώνουν το πυρίτιο για την ανάπτυξη κρυστάλλων.

  • Τρύπες από χρυσολίβανο250 χιλιάδες δολάρια και πάνω για την αντικατάσταση.

  • Η μόλυνση των κυψελών: Μεταλλικές ακαθαρσίες από διαρροές λιωμένων υλών.

  • Μη προγραμματισμένος χρόνος απουσίας: 8+ ώρες για την επανεκκίνηση των κύκλων του φούρνου.

Πώς οι διακόπτες ροής διπλών παραμέτρων αποτρέπουν καταστροφές

1Παρακολούθηση με νανοακρίβεια

  • Πεδίο ροής: 0,5 έως 40 L/min (± 0,5% FS) για ακριβή ρύθμιση του νερού DI.

  • Περιοχή θερμοκρασίας: 0 έως 100 °C (±0,3 °C) με αισθητήρες PT1000.

  • Διαλειτουργική λογική: Διακρίνετε τις βλάβες της αντλίας (χαμηλή ροή + αυξανόμενη θερμοκρασία) από τις μερικές βλάβες (χαμηλή ροή + σταθερή θερμοκρασία).

2Αμέσως Προστατευτικές Δράσεις

  • Στάδιο 1 Προειδοποίηση: Ενημερώνει τους χειριστές σε κατώτατα όρια ροής/θερμοκρασίας 90%.

  • Στάδιο 2 Ανταπόκριση: Μείωση της ισχύος θέρμανσης κατά 50% μέσω PLC.

  • Στάδιο 3 Κλείσιμο: Απομονώστε τον φούρνο εάν η ροή πέσει κάτω του 70% για > 3 δευτερόλεπτα.

3. Ακατέργαστο για σκληρά περιβάλλοντα

  • 150 PSI βαθμολογία: Αντιστέκεται στο σφυρί νερού από ταχεία κλεισίματα βαλβίδων.

  • Προστασία IP67Δραστηριοποιείται βυθισμένη σε δεξαμενές ψυκτικού.

  • Μηδενικά ψευδείς ερεθίσματα: Η προστασία EMI αποτρέπει τον θόρυβο του σήματος σε ζώνες υψηλής συχνότητας.

Μελέτη περίπτωσης: Παραγωγή κυψελών πυριτίου 300 mm

Ένα κορυφαίο χυτήριο πέτυχε:

  • 990,9% χρόνο λειτουργίας: Εξαλείφθηκαν 12 διακοπές λειτουργίας των φούρνων/έτος.

  • 30% εξοικονόμηση ενέργειαςΟπτικοποιημένη ψύξη που ταιριάζει με τους κύκλους τήξης.

Τεχνικά πλεονεκτήματα

  • Αισθητήρες αυτοκαθαρισμούΟ υπερηχητικός παλμός εμποδίζει την συσσώρευση ορυκτών.

  • Επεξεργασίες πολλαπλών πρωτοκόλλων: 4·20mA, ModBus ή ενσωμάτωση EtherCAT.